Medición de espesor de placas de vidrio por señal de error de foco de spot binario
A. D. Aguilar, J. R. Torga
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Información básica
Volumen
V52 - N4 / 2019 Ordinario
Referencia
51035: 1-9
DOI
http://dx.doi.org/10.7149/OPA.52.4.51035
Idioma
English
Etiquetas
Señal de error de foco, astigmatismo, espesor, perfilómetro de haz, múltiples spots
Resumen
Los sistemas de error de foco basados en el principio astigmático que utilizan detectores de cuatro cuadrantes como elemento generador de señal han sido usados ampliamente en una gran variedad de aplicaciones. Sin embargo, su principio de funcionamiento no es particularmente adecuado para medidas que involucran más de un spot. En este trabajo proponemos un nuevo método que usa un CCD como dispositivo de detección y un método de procesar los datos adquiridos. Un efecto secundario de este cambio es la pérdida del parámetro SEF, clave en estas técnicas. Para superar este problema se propone un nuevo parámetro que llamamos señal de foco. El proceso de medición de espesor de una muestra transparente con dos caras reflectoras usando esta técnica también es presentado.
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