Interferometría láser diferencial retroalimentada para la medición de desplazamiento nanométrico

Francisco J. Azcona, Reza Atashkhooei, Santiago Royo


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Información básica

Volumen

V47 - N1 / 2014 Ordinario

Referencia

19-25

DOI

http://dx.doi.org/10.7149/OPA.47.1.19

Idioma

English / Inglés

Etiquetas

Interferometría Láser Realimentada, Alta Resolución, Desplazamiento Nanométrico, Medición Diferencial, Nanotecnología.

Resumen

Recientemente hemos propuesto la interferometría láser realimentada diferencial como un método para la medición de desplazamientos en la escala nanométrica. En este artículo, presentamos algunos resultados experimentales que validan la teoría previamente presentada. Se describen además, en detalle el sistema de adquisición de datos (en particular la etapa de acondicionamiento de señal) y el algoritmo de procesamiento de señal. Los resultados obtenidos muestran buena concordancia con las mediciones realizadas con un sensor capacitivo utilizado como referencia.

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