Interferometría láser diferencial retroalimentada para la medición de desplazamiento nanométrico
Francisco J. Azcona, Reza Atashkhooei, Santiago Royo
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Información básica
Volumen
V47 - N1 / 2014 Ordinario
Referencia
19-25
DOI
http://dx.doi.org/10.7149/OPA.47.1.19
Idioma
English / Inglés
Etiquetas
Interferometría Láser Realimentada, Alta Resolución, Desplazamiento Nanométrico, Medición Diferencial, Nanotecnología.
Resumen
Recientemente hemos propuesto la interferometría láser realimentada diferencial como un método para la medición de desplazamientos en la escala nanométrica. En este artículo, presentamos algunos resultados experimentales que validan la teoría previamente presentada. Se describen además, en detalle el sistema de adquisición de datos (en particular la etapa de acondicionamiento de señal) y el algoritmo de procesamiento de señal. Los resultados obtenidos muestran buena concordancia con las mediciones realizadas con un sensor capacitivo utilizado como referencia.
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